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1、大、小仓无法补气

原因:①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等阻塞;②电磁阀是否没有打开。

方法:①依据管路走向,确认气孔位置,疏通管路;②查看线路及电磁阀。

2、大小仓无法抽气

原因:①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等阻塞或舱门漏气;②仓门没关紧,或是大小仓密封圈松动。

方法:①依据管路走向,确认气孔位置,疏通管路;②关紧仓门,查看大小密封圈;③查看作业气压是否过低(由于大仓抽气阀是气动阀)。

3、清洗时箱压继续添加

原因:清洗阀门没有打开、进气压力太大、管路不疏通造成。

方法:①确保管路疏通,最好不要折弯;②清洗时,箱内相对压力继续低于0.5毫巴。

4、净化柱主阀毛病

原因:①作业气压力不足0.5Mpa;②主阀信号反馈毛病。

方法:①更换作业气瓶,或查看减压阀副表压力在0.5Mpa;②查看主阀信号开关。

5、循环不能敞开

原因:风机变频器低压或高压维护。

方法:待电压稳定后,关机隔1分钟后重启。

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